メイドカフェは東京秋葉原のいわゆる「オタク」が多く集まる場所にできているカフェで、ウェイトレスの制服が明治時代の貴族の家に仕えていたメイドのような服という特徴があります。コスプレ系飲食店ができる以前から、アンナミラーズなど、ウェイトレスの制服に特徴がある飲食店が存在していたらしく、この独自の制服に一部のマニア層は注目していたそうです。
メイドカフェのハシリとされている店舗は、2001年3月頃からウェイトレスの制服をメイド服に統一し、落ち着いた雰囲気のある空間と「癒し」をコンセプトに運営されることとなります。こうして「メイド喫茶（メイドカフェ）」という新たな業態ができたのです。さらにこの業態を定着させたのが、「Cafe Mai:lish（カフェ・メイリッシュ）」と呼ばれる喫茶です。
パソコン専門店T-ZONEの新事業の1つとして、2002年7月に「Mary's（メアリーズ）」として開業したこの店は、店員の制服を昼はメイド服、夜はコスプレ衣装という時間帯によって制服を変える形態をとっていました。イベントなどから話題を集め、この店舗の成功によって、マスメディアに取り上げられるようになり、「オタク」以外の人にも知られるようになりました。この成功を初めとして、色んなコスプレ系飲食店が秋葉原で急増していきました。ちなみに、とても有名なフレーズになった、「お帰りなさいませ、ご主人様」というメイド用語ともいえる独特の挨拶でお客様を出迎えるというスタイルは、名古屋・大須の「M's Melody（エムズ・メロディ）が発祥で全国に広がっていきました。
近年は地方のメイド喫茶であった「Cafe Doll（カフェドール）」の様に、秋葉原に進出する店舗が増えています。2007年には「Moe-Cha」という名前の喫茶が堺市堺区・南海高野線堺東駅近くに開店しました。その後も全国各地にメイドカフェは広がりを見せています。さらにアジア圏である台湾・台北、韓国・ソウル、タイ・バンコクやシンガポール、カナダ・トロントの各市内にもメイドカフェがオープンしていて、その都市以外の地域では期間限定で、メイドカフェが開店するまでにもなっています。世界的に見ても、メイドカフェは癒される喫茶店として受け入れられている証明なのではないでしょうか？
メイドカフェは東京秋葉原が発祥といわれているカフェで、ウェイトレスの制服がメイドのような服という特徴があります。